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검사 유형:CMOS
결의안:1280*1024
분야의 깊이:5mil: 55~100mm, 13mil: 55~350mm
검사 요소 유형:레이저
광학 해상::4mil
검사 속도::150 스캔 / S
스캔 속도:200 스캔 / 초
해결책 비율:1500 화소
해독 속도:초 200 번 /
인터페이스 유형::COM, PS/2, USB, RS-232
스캔 속도:200의 검사/SEC
조명 공급원:보임빛 레이저 650nm